製造プロセス環境改善に貢献します！
ハイパーＨＥＰＡフィルター搭載。
空気中のゴミ・塵埃・有害物質を
高効率に除去します。
大風量にも関わらず、とても静か。
キャスター付きで移動も可能

製品特徴

■ハイパーHEPAフィルター
　表面積１３．３㎡　約８畳分のフィルターが搭載
　０．３ミクロン以上の粒子を９９．９７％捕集します。
■大風量設計　　８５０㎥/時
■静音設計
■オン／オフタイマー搭載
■フィルター交換時期お知らせランプ
　※フィルター寿命約１年半～２年

利用シーン

クリーンルームで	露光工程で

パーティクルカウンター測定

製品仕様

事例紹介：プリント基板製造会社（レジスト印刷室）

■CleanZoneテスト（休日中も連続運転）　
　♦２回／日の頻度でＡ・Ｂ・Ｃポイントで測定を行う。
　♦パーティクルカウンターは0.5μm設定
　♦CleanZone　FANスピード５（850㎥/h）で運転

■測定ポイント

【CleanZone使用前の測定値】

【CleanZone使用後の測定値】

【CleanZone使用後の測定値（詳細）】